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解説

クリーンルームの問題解決に欠かせない室圧コントローラの技術を解説

岡谷精立工業

2017/08/31

資料の紹介

 空気中に漂う微小なほこりやチリを徹底的に減らした作業空間。いわゆるクリーンルームは、半導体、液晶ディスプレイ、食品、バイオ関連など、高度なレベルの品質や精度を求められる分野では欠かせない設備だ。

 だが、それぞれの用途で求められる極めて高い空気清浄度を実現するのはもとより、クリーンルームに求められる要件を常に維持することは容易ではない。実際のクリーンルームでは、様々な問題が浮上する。その一つが、クリーンルームの内外の気圧差によって生じる諸々の問題だ。例えば、外部からのチリやほこりの混入。クリーンルーム内から外部への有害物の漏洩。気圧差によって生じる風切り音などの騒音などである。こうした一連の問題を解決するのが空圧コントローラと呼ばれる装置だ。

 ここで提供する資料は、気体や液体など流体の流れを制御するアクチュエータや装置を数多く手掛ける岡谷精立工業が、室圧コントローラの機能や問題解決の例を分かりやすくまとめたものだ。クリーンルームを使う現場の技術者や、品質管理および設備管理の担当者は、ぜひ目を通しておきたい資料である。

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